探針臺(tái)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1.寬溫度范圍

-190°C至600°C；可編程控溫（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）。

2.低電噪聲

該控制器采用可編程精度的LVDC PID方法來(lái)小化電噪聲。

3.電氣探頭與手動(dòng)定位

手動(dòng)懸臂探頭可以單獨(dú)定位到樣品區(qū)域的任何點(diǎn)位置。

4.氣密室

密封室允許惰性氣體清洗或除霜，以防止凝結(jié)和氧化。密封室也可用于控制樣品周?chē)拇髿?，用于濕度研究或惡劣環(huán)境測(cè)試。具有快速連接氣體端口和可更換的橡膠密封件。

5.精度和穩(wěn)定性

熱塊內(nèi)嵌入pt100鉑RTD傳感器，確保高溫精度和穩(wěn)定性。RTD傳感器被校準(zhǔn)，以測(cè)量樣品加熱塊表面的溫度-提供盡可能接近和準(zhǔn)確的樣品讀數(shù)。

6.控制

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK。

產(chǎn)品參數(shù)

1. 溫控參數(shù)

1.1溫度范圍：-190℃ ~ 600℃（負(fù)溫需配液氮制冷系統(tǒng)）

1.2傳感器/溫控方式：100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

1.3加熱/制冷速度：+80℃/min （100℃時(shí)） -50℃/min （100℃時(shí)）

1.4加熱/制冷速度：±0.01℃/min

1.5溫度分辨率：0.01℃

1.6溫度穩(wěn)定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

1.7軟件功能：可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線

2. 電學(xué)參數(shù)

2.1探針：默認(rèn)為錸鎢材質(zhì)的彎針探針*可選其他種類(lèi)探針

2.2探針座：杠桿式探針支架，點(diǎn)針力度更大，電接觸性更好

2.3點(diǎn)針：手動(dòng)點(diǎn)針，每個(gè)探針座都可點(diǎn)到樣品區(qū)上任意位置

2.4探針接口：默認(rèn)為BNC接頭，可選三同軸接口

2.5樣品臺(tái)面電位：默認(rèn)為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

2.6霍爾測(cè)試：臺(tái)體為非磁性材料制作，可用于變溫霍爾效應(yīng)測(cè)試

3. 光學(xué)參數(shù)

3.1適用光路：反射光路*另有透射光路型號(hào)

3.2窗片：可拆卸與更替的窗片

3.3物鏡工作距離：8.5 mm *截面圖中WD

3.4上蓋窗片觀察：窗片范圍φ38mm，大視角±60.7° *截面圖中θ1

3.5負(fù)溫下窗片除霜：吹氣除霜管路

3.6霍爾測(cè)試：臺(tái)體為非磁性材料制作，可用于變溫霍爾效應(yīng)測(cè)試

適用范圍

廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、?高速器件的電氣測(cè)量的研發(fā)，?旨在確保質(zhì)量及可靠性，?并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本，主要包括半導(dǎo)體行業(yè)、?光電行業(yè)、?集成電路以及封裝的測(cè)試。